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尘埃粒子计数器KC-31/24
一、简介半导体芯片制造工艺需要在千级/百级无尘室内进行，FAB无尘室中空气中颗粒数量需要管控。KC-31为自带锂电池的便携式气体颗粒计数仪，具有大流量，测试速度块的优点。二、KC-31主要技术参数测试原理：光散射法测量最小粒径：0.3?m（KC-24为0.1?m） 粒径范围：6 channels: ≥0.3?m, ≥0.5?m, ≥1.0?m, ≥2.0?m, ≥5.0?m, ≥10.0?m气体流速: 28.3L / min（KC-32为50L/min） 最···
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液体颗粒计数器KS-41A
一、简介光刻胶中颗粒数量需要管控。光刻胶溶液中的颗粒数量直接决定了图案的加工质量和后续器件的良率。液体颗粒度仪作为电子材料开发的基本设备，用于在制造半导体、显示面板过程中保持高清洁度的液体粒子计数器。可检测光阻产品、SOG 等产品中小至0.07um 的颗粒。适应于光刻胶材料开发和来料检测。二、KS-41A主要技术参数 测试方式：Off-line 测量最小粒径：0.15um（KS-41B为0.1um） 粒···
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晶圆表面缺陷测试仪Lumina AT1
一、简介Lumina AT1光学表面缺陷分析仪可对玻璃、半导体及光电子材料进行先进的表面检测。Lumina AT1既能够检测SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料，又能对Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板进行检测，其价格优势使其成为适合于研发/小批量生产过程中品质管理及良率改善的有力工具。 Lumina AT1结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与表面斜率等基本原理，以非破环性方式对Wafer表面的残留异物，···
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激光粒度仪LA-960V2
一、简介HORIBA公司的及激光粒度仪LA960的测试范围为10nm-5000um，仪器可以配置湿法和干法测试系统，仪器的数据准确度为0.6%（NIST标准），数据重复性为0.1%（NIST标准），不管是测试范围还是数据准确度和重复性，该项目的技术指标为行业领先，并且该仪器具有优异的扩展性，可以配置成像模块，微量池，高浓度低粘度池及自动进样器等，双光源固体激光器以及一体成型的设计，使得该仪器具有···
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液体颗粒计数器 KS-42BF
一、简介日本RION公司成立于1944年，前身为小林理研株式会社。颗粒计数器对于半导体、制药和精密设备的清洁度管理是不可或缺的。RION为各种目的提供粒子计数器，例如液体粒子计数器作为电子材料开发的基本设备，用于在制造半导体、显示面板过程中保持高清洁度的液体粒子计数器。可检测光阻产品、SOG 、有机溶剂、纯水、药液等产品中小至20nm的颗粒。不仅在国内，而且在国际上，银河官网入口的产品···
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手持式尘埃粒子计数器KC-52/51
一、简介半导体芯片制造工艺需要在千级/百级无尘室内进行，FAB无尘室中空气中颗粒数量需要管控。KC-51为手持式式气体颗粒计数仪，具有成本低，操作简单的优点。二、KC-51主要技术参数 测试原理：光散射法测量最小粒径：0.3?m 用户可选通道：3 channels: 0.3m, 0.5m, 5m (Default setting)2 channels: 0.3m, 0.5m2 channels: 0.5m, 5.0m（KC-52为5 channels: ≥0.3?m, ≥0.5?m, ≥1.0?···
