表面轮廓及力学量测-银河官网入口-中国有限分公司-膜厚、电性、颗粒及缺陷量/检测

薄膜应力仪FSM 128NT

一、简介美国Frontier Semiconductor, 简称“FSM”，FSM为半导体、LED、太阳能、FPD、数据存储和MEMS应用提供一系列先进的计量产品和解决方案。在应力测量、薄膜附着力测试、晶圆形貌计量和电气表征方面拥有超过25年的经验。其基于商业化应用的激光扫描光学杠杆（Optilever）技术，主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。二、技术规格FSM 128NT-8寸，FSM 128L-12寸FSM 500TC-8寸，500℃FSM 5···

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光学轮廓仪Zeta-20

一、简介Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用ZDot?测量技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。Zeta-20的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot?测量模式可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像。···

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白光干涉仪Profilm3D

一、简介Profilm3D是一款兼具垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济型光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量。Profilm3D光学轮廓仪具有以下优点： ? 价格优势：市场上性价比很高的白光干涉轮廓仪，具备价格优势的高精度轮廓仪； ? 快速测量大面积区域：测量范围为毫米级别，配置XY样品台达100mm×100mm，可实现大面积样品的轻松测量；?简单易用：只需将样品···

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台阶仪P-7

一、简介KLA是全球半导体在线检测设备市场龙头的供应商，在半导体、数据存储、MEMS、太阳能、光电子以及其他领域中有着很高的市占率。P-7是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统，历经技术积累和不断迭代更新，集合众多技术优势。P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。从可靠性表现来看，P-7具有业界领先的测量重复性。UltraLite?传感器具···

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原位纳米力学测试系统（In-SEM纳米压痕仪 NMT04）

一、简介FT-NMT04是一个多功能的原位SEM/FIB纳米力学测试系统，能够准确地量化材料在微米和纳米尺度上的力学行为。作为基于MEMS传感器的纳米压痕，FT-NMT04是基于FemtoTools微机电系统（MEMS）技术。利用二十多年的技术创新，这种原位纳米压痕具有超高的分辨率、可重复性和动态响应。FT-NMT04为金属、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微结构的力学测试而优化。此外，通过使用各种附件，FT-NM···

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Axia ChemiSEM

一、简介Axia ChemiSEM 传承于前 FEI 出品的 Quanta SEM 系列，其易用性、性能和灵活性更上一层楼。Axia ChemiSEM 与传统的 SEM 不同，它始终在后台收集 EDS 数据。它使用独特的算法同时处理SEM和EDS信号，从而可以实时显示样品的形态和定量元素组成。它在后台持续处理 EDS 数据、实时提供更新的元素数据。样品中发现的元素可以被打开和关闭，以便您分离目标区域。 Axia ChemiSEM 通过自···

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Apreo 2 SEM

一、简介新的 Thermo Scientific Apreo 2 SEM 经扩展可访问高性能成像以及针对所有级别显微镜专业知识的分析。凭借 Thermo Scientific ColorSEM 技术，一种独特的实时元素成像功能，可以通过最直观的界面随时获得组分信息。ColorSEM 技术消除了与典型 EDS 实施相关的所有麻烦，为您提供前所未有的结果时间和易用性。凭借 Thermo Scientific SmartAlign 技术，Apreo 2 SEM 对用户和实验室···

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原子力显微镜NX20

一、简介作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对大型样品进行缺陷检测。Park NX20，这款精密的大尺寸样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。 Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、更耐用···

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纳米力学测试/操纵系统 FT-MTA03

一、简介FT-MTA03集纳米压痕仪、微拉力仪、轮廓仪和通用微观结构分析仪的功能于一体，其测力范围为±200mN，力学分辨率可达0.5nN（9个数量级），可在三轴方向测量0.1nm至29mm的位移（8个数量级）。FT-MTA03配置高分辨率显微镜，具有95mm的高工作距离，可在样品上方180°旋转。配备3百万像素CMOS USB相机，可选择同轴透镜照明、环形光和漫射背光三种可调LED照明原理。FT-MTA03轻巧便捷，尺···

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光学轮廓仪Zeta-300

一、简介Zeta-300光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统，具有集成的隔震系统和灵活的配置。该系统采用ZDot?测量技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。Zeta-300的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot?测量模式可同时采集高分辨率3D数据和Tru···

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台阶仪P-17

一、简介P-17是第八代台式探针轮廓仪，是40多年的表面量测经验的结晶。该系统领先业界，支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。该系统结合了UltraLite?传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面···

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台阶仪D-600

一、简介KLA先进的探针式台阶仪Alpha-Step D-600，可精确测量纳米级至1200um台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力，集高测量精度、多功能性和经济性于一体，是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。因其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。二、功能设备特点·台阶高度：几纳米至1200μm·低触力：0.03至15mg·视频：500万像素高分辨率彩色摄像头·梯形···

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台阶仪D-300/500

一、简介 Alpha-Step D-300探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化···

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