银河官网入口-中国有限分公司
Vista One纳米红外成像系统-测试纳米级缺陷及异物，可至10nm
Lumina AT1光学表面缺陷扫描仪-测定凹坑、凸起、异物、划痕等缺陷，70nmPSL
Zeta-300光学轮廓仪-测定三维轮廓、1um以上缺陷等
P-7台阶仪-测定三维轮廓、台阶高度、缺陷等
