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JNM-ECZ400S核磁共振谱仪-测定树脂、添加剂组分等
NexION 5000电感耦合等离子体质谱仪-测定光刻胶中金属例子浓度
KS-41A/B液体颗粒度仪-测定光刻胶、溶剂中颗粒数量
F50膜厚仪-测定光刻胶膜厚mapping，折射率等
RC2光谱椭偏仪-测定光刻胶折射率、消光系数、膜厚等
MX608配备了电容式探头和涡流探头，可测量碳化硅外延片厚度，TTV，Warp/Bow和电阻率等参数。
NexION 1000/2000电感耦合等离子体质谱仪-测定金属离子浓度
280SI四探针测试仪-测定电阻率、方块电阻、金属厚度等
CVMap 92A/B汞探针CV测试仪-测定掺杂浓度、CV特性等
NX20原子力显微镜-测定表面粗糙度、电学性能等
P-7台阶仪-测定晶圆粗糙度、台阶高度、翘曲度、应力等
XploRA? PLUS共聚焦拉曼光谱仪-拉曼光谱成像、应变、各向异性、层数等
Vista One纳米红外成像系统-表面等离激元、电场效应等光学及电学特性
NX20原子力显微镜-表面粗糙度测量、单层厚度测量
Apreo 2 SEM扫描电子显微镜-高分辨成像、形貌观察
Vista One纳米红外成像系统-测试纳米级缺陷及异物，可至10nm
Lumina AT1光学表面缺陷扫描仪-测定凹坑、凸起、异物、划痕等缺陷，70nmPSL
Zeta-300光学轮廓仪-测定三维轮廓、1um以上缺陷等
