尘埃粒子计数器KC-31/24

尘埃粒子计数器KC-31/24

产品名称:气体颗粒计数仪
品牌:日本RION
型号:KC-31/24
关键词标签:Particle Counter、颗粒计数、Rion
简短描述:KC-31/24主要应用于无尘室环境中颗粒数量的监控,其中KC-31适用于千级无尘室,KC-24适用于百级无尘室。
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产品详情

一、简介

半导体芯片制造工艺需要在千级/百级无尘室内进行,FAB无尘室中空气中颗粒数量需要管控。KC-31为自带锂电池的便携式气体颗粒计数仪,具有大流量,测试速度块的优点。

31-1.png

二、KC-31主要技术参数

测试原理:光散射法

测量最小粒径:0.3?m(KC-24为0.1?m
粒径范围:6 channels: ≥0.3?m, ≥0.5?m, ≥1.0?m, ≥2.0?m, ≥5.0?m, ≥10.0?m 
气体流速: 28.3L / min(KC-32为50L/min)
最大颗粒浓度:28,000,000 ea/m3 (coincidence loss 10%)


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