汞探针CV测试仪

一、简介

美国Four Dimensions,Inc, 简称“4D”，成立于1978年，位于美国加州硅谷的Hayward, 4D公司专注于四探针设备和汞探针CV测试仪的生产和销售，累计销量达1000台以上，遍布世界各大半导体Fab化合物半导体企业，大学及科研机构。CVmap系统使用独特设计的汞探头直接在未金属化的晶圆上进行电容-电压（CV）和电流-电压（IV）测量。

二、主要功能

l  技术规格

掺杂浓度测试范围为1E14 – 1E19/cm3。

样品尺寸：尺寸2~8英寸。

测试点数：可以满足200个点的测试。

用于测试导电衬底、绝缘衬底和高阻衬底的外延的参杂浓度。

探头为点状探头和点环状结构。

换汞频率在半年至一年，依赖于使用的频率。

三、应用

用于测试各类导电衬底、绝缘衬底和高阻衬底的外延的掺杂浓度，是SiC衬底的关键参数。