公司产品-银河官网入口-中国有限分公司-膜厚、电性、颗粒及缺陷量/检测

薄膜应力仪FSM 128NT

一、简介美国Frontier Semiconductor, 简称“FSM”，FSM为半导体、LED、太阳能、FPD、数据存储和MEMS应用提供一系列先进的计量产品和解决方案。在应力测量、薄膜附着力测试、晶圆形貌计量和电气表征方面拥有超过25年的经验。其基于商业化应用的激光扫描光学杠杆（Optilever）技术，主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。二、技术规格FSM 128NT-8寸，FSM 128L-12寸FSM 500TC-8寸，500℃FSM 5···

更多
纳米红外成像系统Vista-IR

Vista-IR纳米红外介绍：傅立叶变化红外光谱（Fourier Transform infrared spectroscopy, FTIR）广泛应用于各种化学分析，尤其是聚合物和有机化合物分析，为现代化学提供了重要的分析手段。然而常规的傅立叶红外光谱由于受到光学衍射极限的限制，其空间分辨率也越来越无法满足科研人员在纳米尺度下对于样品进行化学分析及成分鉴定。在这一背景下，Molecular Vista应运而生，推出了全新一代···

更多
汞探针CV测试仪

一、简介美国Four Dimensions,Inc, 简称“4D”，成立于1978年，位于美国加州硅谷的Hayward, 4D公司专注于四探针设备和汞探针CV测试仪的生产和销售，累计销量达1000台以上，遍布世界各大半导体Fab化合物半导体企业，大学及科研机构。CVmap系统使用独特设计的汞探头直接在未金属化的晶圆上进行电容-电压（CV）和电流-电压（IV）测量。二、主要功能l 技术规格掺杂浓度测试范围为1E14 – 1E19···

更多
光谱椭偏仪RC2

一、简介J.A.Woollam公司于1987年由Woollam教授等创办。公司是由内布拉斯加州立大学的科研成果为基础衍生而来的专业生产光谱型椭圆偏振测量仪的厂商，公司研发、生产多种不同规格型号的椭偏仪。J.A.Woollam公司拥有超过100项的椭偏patent技术，确保公司的技术处于领先地位。已有2000多套椭偏仪已被安装到世界各地，广泛应用于各种领域的科研与生产当中。RC2是J.A.Woollam公司的最新的光谱···

更多
膜厚仪F50/54

一、简介KLA的Filmetrics系列利用光谱反射技术实现薄膜厚度的精确测量，其测量范围从nm-mm，可实现如光刻胶、氧化物、硅或者其他半导体膜、有机薄膜、导电透明薄膜等膜厚精确测量，被广泛应用于半导体、微电子、生物医学等领域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款产品，可测量从几mm到450mm大小的样品，薄膜厚度测量范围1nm到mm级。Filmetrics F50 系列的产品能以每···

更多
共聚焦拉曼XploRA? PLUS

一、简介HORIBA Scientific从事光学研发200年，其中拉曼光谱仪的研发与制造长达60多年。XploRA PLUS是多样性、多用户拉曼光谱仪，它在一个可靠的、高性能的系统中融合了独特而强大的功能，是研究和分析实验室的理想选择。二、技术特点XploRA PLUS是完全共聚焦的，不影响图像质量、空间或深度分辨率。SWIFT快速拉曼图像是快速全共焦拉曼图像，通常比传统拉曼成像快10倍。XploRA PLUS的简单···

更多
NexION 5000 ICP-MS

一、简介珀金埃尔默公司是ICP-MS技术的发明者，也是ICP-MS技术革新的先行者。1983年珀金埃尔默公司研制开发出用于商业的ELAN? 250型ICP-MS。NexION 5000是业界首款多重四极杆ICP-MS，由四组四极杆组成。其创新设计达到和超过如半导体、生物监测和其他应用领域的痕量和超痕量元素检测要求。NexION 5000性能超越了传统的三重四极杆技术，提供低的背景等效浓度（在高温热等离子字体中，BECs···

更多
尘埃粒子计数器KC-31/24

一、简介半导体芯片制造工艺需要在千级/百级无尘室内进行，FAB无尘室中空气中颗粒数量需要管控。KC-31为自带锂电池的便携式气体颗粒计数仪，具有大流量，测试速度块的优点。二、KC-31主要技术参数测试原理：光散射法测量最小粒径：0.3?m（KC-24为0.1?m）粒径范围：6 channels: ≥0.3?m, ≥0.5?m, ≥1.0?m, ≥2.0?m, ≥5.0?m, ≥10.0?m气体流速: 28.3L / min（KC-32为50L/min）最···

更多
液体颗粒计数器KS-41A

一、简介光刻胶中颗粒数量需要管控。光刻胶溶液中的颗粒数量直接决定了图案的加工质量和后续器件的良率。液体颗粒度仪作为电子材料开发的基本设备，用于在制造半导体、显示面板过程中保持高清洁度的液体粒子计数器。可检测光阻产品、SOG 等产品中小至0.07um 的颗粒。适应于光刻胶材料开发和来料检测。二、KS-41A主要技术参数测试方式：Off-line 测量最小粒径：0.15um（KS-41B为0.1um）粒···

更多
晶圆表面缺陷测试仪Lumina AT1

一、简介Lumina AT1光学表面缺陷分析仪可对玻璃、半导体及光电子材料进行先进的表面检测。Lumina AT1既能够检测SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料，又能对Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板进行检测，其价格优势使其成为适合于研发/小批量生产过程中品质管理及良率改善的有力工具。 Lumina AT1结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与表面斜率等基本原理，以非破环性方式对Wafer表面的残留异物，···

更多
激光粒度仪LA-960V2

一、简介HORIBA公司的及激光粒度仪LA960的测试范围为10nm-5000um，仪器可以配置湿法和干法测试系统，仪器的数据准确度为0.6%（NIST标准），数据重复性为0.1%（NIST标准），不管是测试范围还是数据准确度和重复性，该项目的技术指标为行业领先，并且该仪器具有优异的扩展性，可以配置成像模块，微量池，高浓度低粘度池及自动进样器等，双光源固体激光器以及一体成型的设计，使得该仪器具有···

更多
光学轮廓仪Zeta-20

一、简介Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用ZDot?测量技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。Zeta-20的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot?测量模式可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像。···

更多
白光干涉仪Profilm3D

一、简介Profilm3D是一款兼具垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济型光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量。Profilm3D光学轮廓仪具有以下优点： ? 价格优势：市场上性价比很高的白光干涉轮廓仪，具备价格优势的高精度轮廓仪； ? 快速测量大面积区域：测量范围为毫米级别，配置XY样品台达100mm×100mm，可实现大面积样品的轻松测量；?简单易用：只需将样品···

更多
台阶仪P-7

一、简介KLA是全球半导体在线检测设备市场龙头的供应商，在半导体、数据存储、MEMS、太阳能、光电子以及其他领域中有着很高的市占率。P-7是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统，历经技术积累和不断迭代更新，集合众多技术优势。P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。从可靠性表现来看，P-7具有业界领先的测量重复性。UltraLite?传感器具···

更多
膜厚仪F54-XY

一、简介KLA的Filmetrics系列利用光谱反射技术实现薄膜厚度的精确测量，其测量范围从nm-mm，可实现如光刻胶、氧化物、硅或者其他半导体膜、有机薄膜、导电透明薄膜等膜厚精确测量，被广泛应用于半导体、微电子、生物医学等领域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款产品，可测量从几mm到450mm大小的样品，薄膜厚度测量范围1nm到mm级。Filmetrics F54-XY 系列的产品能···

更多
台式X射线衍射仪MiniFlex

一、简介理学公司的前身是理学电机制作所，创立于1923年，是世界上研制和生产Ｘ射线科学分析仪器的开拓者之一。理学的MiniFlex是功能齐全的通用型X射线衍射仪，可进行多晶材料的定性和定量分析。二、技术特点第六代MiniFlex保留了以往颇受用户好评的一些特点：可安装在工作台上的小巧机身600W大功率的X射线管易于使用、操作和维护论文产出率高并提供以下高端功能和选配：HyPix-400 MF – ···

更多
原位纳米力学测试系统（In-SEM纳米压痕仪 NMT04）

一、简介FT-NMT04是一个多功能的原位SEM/FIB纳米力学测试系统，能够准确地量化材料在微米和纳米尺度上的力学行为。作为基于MEMS传感器的纳米压痕，FT-NMT04是基于FemtoTools微机电系统（MEMS）技术。利用二十多年的技术创新，这种原位纳米压痕具有超高的分辨率、可重复性和动态响应。FT-NMT04为金属、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微结构的力学测试而优化。此外，通过使用各种附件，FT-NM···

更多
液体颗粒计数器 KS-42BF

一、简介日本RION公司成立于1944年，前身为小林理研株式会社。颗粒计数器对于半导体、制药和精密设备的清洁度管理是不可或缺的。RION为各种目的提供粒子计数器，例如液体粒子计数器作为电子材料开发的基本设备，用于在制造半导体、显示面板过程中保持高清洁度的液体粒子计数器。可检测光阻产品、SOG 、有机溶剂、纯水、药液等产品中小至20nm的颗粒。不仅在国内，而且在国际上，银河官网入口的产品···

更多