薄膜应力仪FSM 128NT

一、简介

美国Frontier Semiconductor, 简称“FSM”，FSM为半导体、LED、太阳能、FPD、数据存储和MEMS应用提供一系列先进的计量产品和解决方案。在应力测量、薄膜附着力测试、晶圆形貌计量和电气表征方面拥有超过25年的经验。其基于商业化应用的激光扫描光学杠杆（Optilever）技术，主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。

二、技术规格

FSM 128NT-8寸，FSM 128L-12寸

FSM 500TC-8寸，500℃

FSM 500TC 300-12寸，500℃

650nm及780nm双激光自动切换

测量点位数：每毫米大于40点

2D/3D结果显示

不带图案和带图案晶圆同样适用。

三、应用

应用于各类无图案晶圆PVD和CVD镀膜及有图案晶圆的应力和Bow测试。