原子力显微镜NX20
品牌：Park
型号：NX20
关键词标签：原子力显微镜、AFM、SPM、扫描探针显微镜、表面形貌
简短描述：NX20是用于故障分析和大尺寸样品研究的领先的纳米级精度原子力显微镜。
一、 简介
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对大型样品进行缺陷检测。Park NX20，这款精密的大尺寸样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。
Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。
二、 主要功能
l 技术特点
1) 三轴分离的平板式扫描器
2) 低噪声XYZ位置传感器
3) 高速Z轴扫描器，扫描范围15μm
4) 样品尺寸：8/12寸以下
5) 自动多样点扫描，集成编码器的XY自动载样台（编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更精确地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 ?m，重复率为2 ?m。Z马达运动的分辨率为0.1 ?m，重复率为1 ?m）
6) 易于换针，易插拔扩展槽。
l 选项/模式
标准成像 | 电学性能测量 | 机械性能测试 |
? 真正非接触式 ? 接触式 ? 侧向摩擦力显微技术（LFM） ? 相位模式，轻敲模式
| ? 导电AFM（ULCA和VECA） ? 静电力显微镜（EFM） ? 压电力显微镜（PFM） ? 扫描电容显微镜（SCM） ? 扫描开尔文探针显微镜（KPFM） ? 扫描电阻显微镜（SSRM） | ? 力调制显微镜（FMM） ? （PFM）压电力显微镜 ? 力调制显微镜（FMM） ? 压痕，纳米刻蚀 ? 相位成像 |
磁性能 | 热性能 | |
? 磁力显微镜（MFM）
| ? 扫描热显微镜（SThM） |
三、 应用
用于故障分析和大型样品研究的领先的纳米计算工具，满足各个领域的研究
n 缺陷检查成像和分析
n 高分辨率电子扫描模式
n 对样品合基片进行表面粗糙度测量
n 样品侧壁三维结构的测量
