白光干涉仪Profilm3D

一、简介

Profilm3D是一款兼具垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济型光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量。

Profilm3D光学轮廓仪具有以下优点：

      ?   价格优势：市场上性价比很高的白光干涉轮廓仪，具备价格优势的高精度轮廓仪；

      ?   快速测量大面积区域：测量范围为毫米级别，配置XY样品台达100mm×100mm，可实现大面积样品的轻松测量；

?   简单易用：只需将样品放置于样品台上，即可直接进行测量；

?   可以测量非接触式非平坦样品：由于光学轮廓测量法是一种非接触式技术，可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。还轻松地测量曲面的表面光洁度，纹理和粗糙度。除此之外，作为一种非接触式方法光学轮廓仪不会像探针式轮廓仪那样损坏柔软的薄膜。

?   无需更换耗材：只需要一个LED光源，无需其他配件更换；

?   可视化3D功能：Profilm 3D轮廓仪具有强大的处理软件，软件除包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量外，还可以纫庸偻肟阝角度移动样品量测三维图形，多角度分析样品图像。

适用于各类样品：Profilm 3D轮廓仪适用于各类金属、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、电介质、硬质涂层、高分子聚合物、光刻胶等的表面轮廓及粗糙度等测量。

Profilm3D光学轮廓仪功能：

?   用于测量粗糙度

使用Profilm 3D轮廓仪可以以秒为单位测量表面纹理，光洁度和粗糙度，只需单击鼠标即可完成。Profilm3D采用白光干涉测量（WLI）和相移干涉测量（PSI）等行业标准技术，可快速测量大面积2D区域的粗糙度和纹理，无需接触样品。

?   测量曲面样品

由于Profilm 3D是一种非接触式技术，因此可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。另外在测量方法中添加形状去除（也称为形状去除）和过滤，即可轻松实现表面光洁度，纹理和粗糙度的测量！

?   任何粗糙度参数标准

Profilm 3D拥有47个ASME / EUR / ISO粗糙度参数标准。可以在结果中显示其中的任阂庸偻肟诨个或全部，从而使自定义报告变得轻而易举。符合ISO 9000和ASME B46.1标准，ISO现在完全支持测量表面粗糙度的光学方法。特别是，ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的WLI方法（其中也称为相干扫描干涉测量法）。

二、主要功能

l  主要应用

台阶高度

表面粗糙度

线宽及轮廓

l  技术能力

厚度范围，VSI  50nm-100mm

厚度范围，PSI  0-3 ?m

样品反射率范围 0.05%-100%

Piezo范围 500 ?m

XY平台范围100mm × 100mm（可选200×200mm）

三、应用

台阶高度、表面形貌、表面粗糙度、大面积拼接等